Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды
Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования – средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника», «Наноинженерия» в МГТУ им. Н. Э. Баумана.
На сайте электронной библиотеки Litportal вы можете скачать книгу Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды в формате fb2, rtf, pdf, txt, epub. У нас можно прочитать отзывы и рецензии о этом произведении.