Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение
Жанр: учебная и научная литература, техническая литература, учебники и пособия для вузов, технические науки, эксплуатация промышленного оборудования, книги для студентов и аспирантов, конструирование оборудования, физика плазмы, инженерно-техническая деятельность, магнетрон, знания и навыки Год написания книги: 2016
