Е. А. Деулин

Изложены основные положения физики вакуума, описание и принципы работы элементов вакуумного оборудования (вакуумных насосов, манометров, фланцев, электрических и механических вводов в вакуум и др…

Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков измене…