Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность. Учебное пособие для вузов

Пособие состоит из трех частей. Первая посвящена особенностям современного высшего технического образования и роли его фундаментальной составляющей в подготовке специалистов любого профиля. Вторая часть раскрывает логику развития электроники и важные вехи её истории, включая ламповую электронику, дискретную полупроводниковую и интегральную полупроводниковую электронику, а также ее переход в современную массовую кремниевую наноэлектронику. В третьей части книги описаны новые перспективные направления наноэлектроники и средства её инструментального, технологического и метрологического обеспечения. Учебное пособие предназначено для бакалавров, обучающихся по направлениям под…