Оценить:
 Рейтинг: 0

Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Год написания книги
2013
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
На сайте электронной библиотеки Litportal вы можете скачать книгу Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники в формате fb2, rtf, pdf, txt, epub. У нас можно прочитать отзывы и рецензии о этом произведении.

Читать онлайн

Помогите, пожалуйста, другим читателям нашего сайта, оставьте отзыв или рецензию о прочитанной книге.


Спасибо! Ваш отзыв был отправлен на модерацию.

Отзывы о книге Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

список сообщений пуст