Проектирование тонкопленочных интегральных схем с повышенной надежностью

В учебном пособии рассмотрены проблемы и пути повышения надежности и выхода годных плат тонкопленочных интегральных схем (ИС) с резистивными элементами. Предложены современные технологии тонкопленочных интегральных схем с резистивными элементами, в том числе интегральных схем сверхвысокочастотного диапазона (ИС СВЧ), с повышенной надежностью. Описаны принципы и разработанные на их основе новые методы проектирования тонкопленочных резисторов с использованием основных положений теории вероятностей, учитывающих производственные погрешности конструктивно-технологических параметров резисторов, которые возникают при их изготовлении. Рассмотрены системы автоматизированного проек…