Работы. Мемуар

Институт проблем технологии микроэлектроники (1985-1995)

Оже-спектрометры в Москве и странные фантазии бюрократов

В Москве у отца оказалось много знакомых, в основном, по Бауманке, он их пообзванивал, и они нашли аж три места, в которых был Оже-спектрометр – довольно редкий прибор, и совсем не в его сфере профессиональных интересов! Да уж, в общительности я от отца далеко отстал. Я побывал во всех трёх местах. Одно было похоже на саратовские «ящики», на одном из которых я работал, а про другие слыхал. Если кто уже не помнит, ящиками назывались секретные предприятия, потому что от них полагалось знать только почтовый ящик для сообщения, то есть какой-то номер. Типа НИИ-52 или НИИ-28. Мы, скажем, жили в так называемом «68-м посёлке», и 68-м заводом как раз и именовался поначалу СЗ ПУЛ. Но обычно, несмотря на эту секретность, весь город знал, чем, хотя бы приблизительно, занимается тот или иной институт или завод. При мне уже, хотя эти номера ещё для их обозначения употребляли, степень секретности снизилась до того, что им придумали названия, как-то выдающие их специфику. Например, Саратовский научно-исследовательский машиностроительный институт (это где отец работал), сокращённо СНИМИ. Как всегда при изобретении названий бюрократы проявили, скажем так, непредусмотрительность, а если по-простому, тупость. О нём тут же стали шутить, с чего именно его требуется так срочно снять, чтобы аж название было таким призывом. И его сразу, пока народ не успел привыкнуть, перезвали в СНИИМ – институт машиностроения. Переставили два слова. А мамин НИИ назвали НИЭТИ – электронно-технологический, что ли. После начавшихся шуток, что они ни те, ни эти, перезвали в НИЭТИН, взяли от слова «институт» не одну букву, а две. Как-то на Волге видел яхту, наверное, с соответствующей базы отдыха, под названием «Ниэтта». Впрочем, СНИМИ и НИЭТИ – ещё цветочки, в Москве я слышал потом про НИИ химикатов, удобрений и ядов. Может, правда, может, выдумка, но определённо на волне всех этих переименований бывших ящиков во что-то слегка более человечное. А потом стали им присваивать названия, не имеющие отношения к их деятельности: институт «Волна», завод «Тантал» (директор которого Умнов нам лекции в универе читал). Про эти бессмысленные названия я видел в интернете снимок: табличка с надписью по-английски Quirrel institute, это, очевидно, кто-то перевёл Институт белка (дательный падеж) как Институт «Б?лка» (именительный). Видимо, приняв осмысленное название за неосмысленное.

Между прочим, я вдруг понял, что такой период был и когда-то до того. Завод «Комбайн», давший название целому району Саратова, так назывался ещё до этих почтовых ящиков. Всё равно все знали, что он выпускал истребители[64 - В.Ч.: нет, в 1931г это действительно был завод комбайнов, построенный американцами в пару к Сталинградскому тракторному (комбайны-то были не самоходные, трактора их тащили). Самолеты Як начали выпускать года с примерно 1939. Какое-то время он назывался «Почтовый ящик №1». Я почитал Википедию. Об американцах ни слова. Сами построили. с 29 до 31 года. – Он: вранье. В википедии идут ожесточенные войны правок, в fb С.Л. Николаева можешь почитать. Я был там на экскурсии в 1987 или 1989 г. (наш декан пытался найти там тему для хоздоговора), директор заводского музея нам рассказывал, причем особо отмечал, что рассказывает для взрослых людей, а не заводской молодежи, которую быстренько и молча проводят мимо напр. портретов расстрелянных директоров. И фотографии американских специалистов и сканы документов мы видели. В числе 400 заводов, не просто спроектированных, а привезенных из Америки и Германии конструкторским бюро Альберта Кана за деньги от продажи зерна, ради чего был устроен голод 1933 г. Вот и вся индустриализация первых пятилеток. Из Википедии: назвали Саратовский завод комбайнов. В 37 г. (не в 41, т.е. предвидели войну-то) переориентировали на самолёты и назвали «Завод № 292 НКАП». Потом в тексте называется Саратовским авиационным заводом, не указано, когда переименовали, м.б. применяют позднее название к более раннему времени (военному). Точно, вот его разбомбили в 43-м, и было постановление о мерах по восстановлению опять же завода № 292. Но в послевоенное время опять называют Сар. авиационным з-дом. И делал он и вертолёты, и ракеты (одной такой, написано, сбили Пауэрса, другой – самолёт в Китае). В 62 году даже комбайны. В 63 клетки для птицефабрик и троллейбусы. Но и самолёты. Но и детские санки, посуду, кресла, игрушки. В 70 появился музей боевой славы Саратовского авиационного завода. Как же он назывался? Видимо, уже так. Появилось в том же году звание «Ветеран труда САЗ». В 77 году монумент в честь самолёта Як-3, где опять завод назван САЗ. В 88 г. «на территории завода стали появляться кооперативы, оказавшие пагубное влияние на взаимоотношения в коллективе завода, не принесших никаких положительных результатов в деятельности завода и вскоре ликвидированных» чота с падежами. Ликвидированных положительных результатов, видимо. О! «До 1991 года Саратовский авиазавод носил условное наименование п/я В-8122». До! А «от»? И ничего про «почтовый ящик №1» не написано. – Он: хорошо помню насмешки родителей именно над «почтовым ящиком №1», но это было чисто бюрократическое наименование, действительно для почты (служебной). Была мода называть в Саратове "ящиками" всё подряд в 70х, потом придумали "Тантал", "Контакт" и т.п.. До 10 лет я жил в Заводском р-не, и ещё 10 лет ездил туда, потому что у нас был сад-огород около ТЭЦ-2. Водитель автобуса объявлял "Комбайн", да и все так говорили. На табличке было написано "Остановка пл. Орджоникидзе". Что делают самолеты скрыть было невозможно: их же облетывали с аэродрома видно было аж от речного вокзала. Название "САЗ" появилось скорее всего при Горбачеве. Когда мы там были, в сборочном цехе, рассчитанном на 20, кажется, самолетов, стояло 3 и вяло работали лишь на одном. Нам объяснили, что Як-42 хорош всем, кроме прожорливости в смысле топлива и индийцы перестали покупать, а китайцы только присылают прежде купленные на ремонт (один как раз был такой). В цехах, впрочем, работа на станках кипела. Если ты когда там ездил – дорога объезжает завод справа и после поворота идет вдоль совершенно бесконечного двухэтажного здания, по-моему, ещё более длинного, чем НИИ, в котором работал Феликс Львович, а потом в "Лапике" я. Это было только конструкторское бюро завода. Одно оно и осталось и теперь там торгово-развлекательный центр "Оранжевый" (в google-maps можешь найти). Всё остальное разрушено: крыши провалились, отопления зимой не было. Сняли даже плиты с взлетной полосы с целью застроить аэродром жилыми домами (ага, дышать вонью с Крекинга!). В общем, полный погром. На рубеже 1980-90х гг. много писали, что они разрабатывают там какую-то "летающую тарелку" – "экраноплан". Согласно официальной версии, какие-то злокозненные западные конкуренты каким-то хитрым образом помешали. Потом некоторое время станки и помещения действительно сдавались в аренду кооператорам (скорее всего своим же работникам, выполнявшим маленькие случайные заказы по ремонту оборудования для других заводов), но огромную крышу чинить и платить за отопление арендаторам было, конечно, не под силу. Самое смешное, что теперь Россия осталась без самолетов и я вчера слышал, что "Як-40" вообще-то хороший самолет, его только немного довести надо. Администрация (если кто-то жив остался) небось теперь локти кусает. Но погром рядового авиазавода на с.д. ерунда по сравнению с той же участью расположенного напротив, через железную дорогу, "зуборезного", т.е. завода тяжелых зуборезных станков, умирание которого я наблюдал в режиме реального времени (в "Лапике" я же занимался теорией зубчатых передач и постоянно ездил для консультаций на "зуборезный" к последнему оставшемуся из когда-то 400 сотрудников КБ при заводе, был знаком с гл. инженером и директором). Это был один из всего трех мировых центров такого производства, причем в 60е гг. даже опережал кое в чем швейцарцев и американцев. Теперь там только оптовые базы и склады.]. Возможно, отсюда анекдот про мирно пашущий советский трактор, на который напали нарушившие границу не помню в каком числе китайские танки. Но он дал им достойный отпор и все их сжёг, после чего поднялся в воздух и улетел. Видимо, фантастический гибрид какого-то наземного оружия типа «Катюши» и вертолёта. Причём то ли замаскированный под трактор, то ли эту вводную часть надо считать изображением привычного вранья в новостях. Впрочем, тогда любая деталь может оказаться враньём, скорее, в этом патриотическом анекдоте вранья в сообщении не предполагалось… Оттуда же анекдот про завод швейных машинок, рабочий которого жалуется приятелю, что жена запилила совсем, хочет швейную машинку. – В чём проблема? – удивляется приятель. – Вынеси комплект деталей да собери. – Три раза пробовал! Каждый раз получается пулемёт!.. – Ну, то есть, понятно, анекдоты не буквально от этого завода. Таких, очевидно, было много по стране.

Итак, ящик, называемый «Контакт», занимался научными исследованиями примерно в области электронной техники, хотя точно не знаю, имел Оже-спектрометр и нуждался в людях, умеющих на нём работать. Но вот беда – прибор не был пока не то что запущен, а даже собран. Стоял в ящиках. – Нам вот-вот освободят помещение, – говорил начальник подразделения, имеющего прибор, – сразу соберём, запустим, и тут надо будет как можно быстрее доказать всё начальству, сомневающемуся в его полезности!.. – Между прочим, помнится, они и зарплату предлагали больше, чем в других двух местах. Но прибор в ящиках и описанная перспектива меня не вдохновили. Я всё это уже проходил и знал, какое оно, это «вот-вот» с освобождением помещений. И какая научная работа возможна в условиях, когда надо срочно доказать начальству полезность прибора.

Другое место называлось «Центр поверхности и вакуума»[65 - ВНИЦПВ. Сейчас поискал в интернете его историю, нашёл только общие фразы без подробностей. Ни имени тогдашнего начальника, ни того, что он обретался на территории Даниловского монастыря.]. Этот центр занимался не производством, а научными проблемами. Брать они меня собирались в аспирантуру. То есть тут наши цели совпадали. Прибор у них был не один. Всё оборудование – зарубежных фирм, выше классом, чем рязанское или питерское подражание. Более того, некоторое время казалось, что всё можно организовать в интересах всех: мой начальник лаборатории Филипченко сразу коротко сошёлся с начальником лаборатории во ВНИЦПВ, Запорожченко (кажется, Владимир Иванович). Они, кстати, были похожи не только фамилиями, но и по внешности, худощавые брюнеты с длинными тонкими «гоголевскими» носами. Кто-то думает, такой нос еврейский, так это ошибка, он средиземноморский, в России – южнорусский и украинский. Можно было сделать так, чтобы я работал в ЦПВ, а образцы туда возил из Саратова, ПУЛ за измерения что-то платил бы – и все довольны. А я как бы не окончательно порывал с заводом. И мог в то же время в своё удовольствие разрабатывать количественный анализ в Оже. В период этого благорастворения я, кстати, одолжил в ЦПВ на время серебряный образец для попытки калибровки нашего Оже-спектрометра. Всё было хорошо, но тут случилась, как я теперь думаю, какая-то интрига. Начальник Запорожченко и вообще всего этого Центра, фамилию теперь уже не помню, но кончалась, кажется, на -ский (возможно, Раховский, но не уверен), стал меня запугивать. А именно, что диссертацию-то я у них защищу, нет проблем. Но вот на работу они меня у себя после того не оставят, мест нет. – А, между прочим, – утверждал (Рахов?)ский, – кандидату наук найти место труднее, чем не защитившемуся специалисту[66 - В.Ч.: Он был прав. До аспирантуры меня с руками пытались оторвать в разные места. Когда же я, по наивности законопослушно отработав 3 года в СГУ после аспирантуры тут же начал искать другое место, на меня, даже не защитившегося, смотрели всюду с большим подозрением и всюду отказывали 22 года подряд. Даже в «Лапик» меня взяли только со 2го раза, от безвыходности (Они обещали вместе со своей измерительной машиной поставить программу для собственно измерения, но не справились из-за отсутствия математической модели – Феликс Львович, сидевший на будущем моем стуле, предложил приближенную, но возможно пригодную модель, от которой я, движимый стремлением к абсолютной точности, всё-таки отказался, но тут он умер, а два или три человека между ним и мной не смогли разобраться в его записках и просто делали вид, что работают, сколько готово было ждать результата начальство, потом увольнялись. Я написал и собственно уравнения, и программу). Но и в «Лапике» долго смотрели косо, как на чересчур умного (через 3 года, когда я уволился, правда, сильно об этом пожалели). Гоз (забыл имя) из 10

кл, попался мне на улице, когда нам было лет по 28, и спросил: нет ли у меня на примете толковой выпускницы мехмата: его назначают руководителем группы. «Есть, –сказал я – родная сестра как раз заканчивает» – «Так она, как и ты, небось отличница» – «Отличница» – «Нет, мне надо со средним баллом 4. Отличники – они же начинают спрашивать: а почему мы делаем так, если можно лучше? А мне не нужно лучше, мне надо, чтобы делали, как сказано. Только 4». У матери был сослуживец, пришедший в «Саратовэнерго» с кафедры политеха ради заработка. Такая же история, в конце концов на кафедру вернулся. Так что для «производства» твоя ученая степень была бы излишней (а если начальник без неё – то для него опасной), в ВУЗах же считали бы, что твоя национальность и так представлена непропорционально. Отцу на партсобрании доводили до сведения (как раз в год нашего окончания школы), что есть негласное распоряжение ЦК всячески препятствовать поступлению евреев в центральные ВУЗы и защитам диссертаций. «Чтобы не готовить кадры для Израиля» (Мне рассказывали 3-4 раза о случаях, когда в доверительной беседе людям объясняли прямо, но ведь за такую откровенность можно было пострадать) Так что, подозреваю, кандидатский экзамен по философии тебе не зачли вовсе не в результате недоразумения. – Я: так я и не писал, что в результате недоразумения, просто концов было не найти, даже кто вычеркнул. И не «не зачли», о таком и речи не было, а не разрешили сдавать.]. – Не знаю, сколько было в его утверждениях правды. Жена потом говорила, что обманывал по крайней мере с местами, институт обязан оставить на работе защитившегося в нём бывшего своего аспиранта. А то бы институту не разрешили и в аспирантуру его принимать. Но я не уверен, всё же она совсем в другой сфере учёный. Вдруг порядки разные. Обязан – одно, а может ли практически избавиться – другое. Нусутх. Всё равно она это сильно позже говорила. Потому что это не та жена, первая, к которой я уехал из Саратова, а вторая, потом. Главное, что тогда на меня эти аргументы произвели впечатление. И я выбрал третье место, о котором сейчас расскажу. Теперь думаю, уж не с подачи ли бывшего начальника будущий предполагаемый начальник всё это говорил? Ну, чтобы я потом послушно уехал обратно в Саратов? Таких слов (Рахов?)ский, понятно, не произносил, но какой ещё мог быть смысл? В итоге запугал-таки, и вышло не то, на что рассчитывал Филипченко, если это, конечно, была его интрига. В ЦПВ в аспирантуру я не пошёл, в Саратов не вернулся. Потом встречал на какой-то конференции Запорожченко, он удивлялся, почему я к ним не пошёл? То ли эта интрига прошла мимо него, то ли делал хорошую мину при плохой игре. То ли забыл за незначительностью.

Между прочим, это хорошо, что я туда не пошёл. Размещались они в здании Даниловского монастыря, это который на берегу Москвы реки под обрывом, на котором наверху выстроен «Одеколон» – здание Президиума Академии наук. Когда началось потом возвращение церкви её прежних помещений, Даниловский монастырь не захотел ждать, когда это произойдёт само собой и предпринял хитроумную интригу. Трёхходовую. Сперва пустил к себе частную школу Поливановой. В которой тогда как раз училась Настя. И под предлогом, что школе нужно место, стал торопить этот самый ЦПВ убраться от них. А тот уже пребывал в очень плохом состоянии. Запорожченко (по слухам) уехал в Германию, (Рахов?)ский (по слухам) в Израиль, среди оборудования бродила парочка сотрудников, и, хотя их согласился приютить какой-то институт на окраине Москвы… Теперь не помню, какой, помню, что у его здания высота была линейно переменной, то есть верхний край дома наклонный, не знаю, как с этим внутри справились проектировщики. Он мне подал идею такой детали в фантастическом боевике «Агент 008 в Зазеркалье». Там такая длинная лестница без поворотов, через всё здание выходящая на крышу… Нусутх. Здание я видел, потому что родителей учившихся в поливановской школе детей призвали поработать грузчиками. Потому что сами сотрудники ЦПВ не справились бы с перевозкой всего своего оборудования. Так я посетил ЦПВ второй раз, совсем в другой роли, не соискателя места, а судебного пристава, выселяющего должника с этого самого места. Интрига, кстати, кончилась таким третьим ходом: монастырь стал категорически настаивать, чтобы школа стала церковно-приходской. Поливанова не согласилась. У неё свои понятия о том, чему учить детей, довольно, кстати, новаторские и оригинальные, потому она и основала частную школу. Раньше она пыталась эти идеи проводить в государственной школе № 57, тоже, вроде бы, прогрессивной, но даже там встретила непонимание и оттуда ушла. Монастырь созвал родительское собрание и попытался «переизбрать» директора. Что тоже полная чушь, никто этого директора не выбирал, и вообще это не просто директор, а основатель и идейный вдохновитель школы. Родители, естественно, отказались. Монастырь, который, естественно, заранее предвидел результат, с лицемерным сожалением сообщил, что сделал всё, что мог, и, раз ничего не вышло, эта школа ему не подходит. И попросил очистить помещение, отобранное с помощью школы у ЦПВ. Хотя, на самом деле они и не в этом помещении были. Значит, вообще очистить – для настоящей единоверческой школы. А вы говорите, иезуиты, иезуиты. Что иезуиты? Наши православные батюшки тоже не лыком шиты. Ха, рифма получилась. Но это я забежал далеко вперёд. Просто кстати к теме про ЦПВ пришлось.

Московская лаборатория ИПТМиОЧМ

А тогда я поступил в ИПТМиОЧМ – Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов. Располагается он в Черноголовке, но у него есть московская лаборатория под руководством Мордковича. Она помещается в институте ядерных исследований (ИЯИ), что на территории ФИАНа, напротив универмага «Москва» на Ленинском проспекте. Занимая там, в основном, подвал, и не особо большую комнату кроме него. В подвале стоит принадлежащий (принадлежавший?) ИЯИ ускоритель с энергией, кажется, 460 кэВ, безнадёжно устаревший для этих самых ядерных исследований, но пригодный для имплантации одних веществ в другие. Что можно применить для создания материалов электронной техники. А наверху у них был Оже-спектрометр. Купленный, но, опять же не запущенный пока. Хотя, по крайней мере, собранный и, главное, на своём месте, а не под обещание вскоре освободить. Правда, при нём был уже и специалист, если я правильно помню, его фамилия Покровский… я с ним почти не пообщался, могу спутать… но, в принципе, почему не работать вдвоём. Это потом я столкнулся с практикой, что на один прибор полагается один человек. Притом это всё же не обязательное положение, а такое, к которому обычно стремятся.

Меня расспросили об опыте работы. Когда я сказал, что работал на Оже-спектрометре рязанского производства, кто-то из присутствующих воскликнул: – Как, они же ни у кого не работают! – А у нас работает! – с гордостью сказал я. Правду сказать, работал он не благодаря моим умениям его чинить. А потому, что у нас был договор с Рязанью, и они иногда заменяли какие-то детали, например, один раз – приёмник Оже-электронов, электронный умножитель, который находится в фокусе анализатора[67 - представляет собой маленькую воронку из какого-то специфического стекла, на которую подано большое напряжение. В результате электрон, попадая на внутреннюю стенку воронки, вызывает целую лавину вторичных электронов, то есть это такой усилитель на лавинном эффекте]. Ну а что можно было чинить и чинилось на ПУЛе, так там больше заслуга Якорева, чем моя. Но о деталях меня не стали расспрашивать.

В лаборатории Мордковича моим руководителем группы был Данилин. Его группа занималась, с помощью того самого подвального ускорителя ИЯИ, имплантацией в кремний ионов кислорода и азота, чаще всего в виде ионов N

O. Впрочем, соединение особой роли не играло: при ударе о поверхность кремния всё равно молекула немедленно разваливается и дальше составлявшие её атомы самостоятельно внедряются в материал.

Ускоритель я посмотрел. Внушительное зрелище. Конечно, современные ускорители (которых я не видел) гораздо больше, но и этот подвальный впечатляет. За металлической сеткой с запрещающими табличками закуток, там стоит металлический прямоугольный ящик со скруглёнными углами и рёбрами на четырёх высоких ногах, состоящих из набора стеклянных чечевицеобразных дисков, какие можно видеть на высоковольтных линиях электропередач. Накопитель заряда. Ещё бы его не изолировать, он по напряжению практически та самая ЛЭП-500, про строителей которой советская песня. «А в тайге горизонты синие. / ЛЭП-500 не простая линия. / И пускай тот, кто не был в Лэпии, / Завидует нам!», так, кажется, она кончалась. Помнится, там ещё был жуткий образ «Нет невест у ребят отчаянных. / Только в песнях порой встречаем их. / Проводов голубыми пальцами / Мы, девчата, тянемся к вам…» Даже если понять, как надо, что мы здесь не девчата, и к вам не к строителям ЛЭП-500, все равно противоречит другим романтическим песням про тех самых девчат, отправившихся в тайгу. «Девчонке снится паренёк с физмата. / И вальс-бостон на клубном пятачке. / И пахнет гарью суп из концентрата. / И бигуди забыты в рюкзаке». Для рифмы было бы лучше «в рюкзачке», но назвать рюкзачище геолога рюкзачком сочинитель постыдился. И клубный пятачок назвать пятаком было бы смешно. «Скажи, кабан Полтинник заходил» – это поросёнок Пятачок в анекдоте на тему Винни-Пуха. Стихи такая своевольная материя… Новелла Матвеева придумала, видимо, что в плащах-палатках наших мы похожи на монашек, а потом испугалась обидеть героев и заменила на монахов. Ну вот, а накопитель заряда подаёт напряжение в сотни киловольт на ионную пушку, имеющую вид здоровенной трубы, действительно внешне похожей на пушку, в отличие от той электронной и ионной пушек, что в Оже-спектрометре, да и в обычном кинескопе. Впрочем, теперь уже не обычном, их заменили плоские мониторы. Между прочим, очень неудобно для кошек. Так они всегда устраивались на тёплом кубе компьютерного монитора, у него на верхней крышке щели охлаждения, так что от него тепло. А на плоском мониторе не удержишься. Да он и не такой тёплый. У каждого плюса свой минус.

Скрытый диэлектрический слой и всесилие охраны

Наверное, надо рассказать замысел всего этого. При изготовлении микросхем на кремнии используется слой примерно микронной толщины, однако пластины кремния имеют толщину 300 мкм. Вроде, бывают и 100 мкм, но с ними трудно обращаться, легко сломать. Пластина из-за требуемой прочности на два – два с половиной порядка толще собственно микросхемы. Но для микросхемы этот лишний объём не безразличен. Он создаёт паразитную ёмкость и уменьшает возможную частоту, с которой сможет работать микросхема. А это, понятно, очень существенный параметр, для компьютера, например. Метод борьбы с влиянием подложки заключается в том, что создаётся изолирующий слой между микросхемой и остальным объемом пластины. По-английски этот диэлектрический слой называется «погребённый», buried, а по-русски – скрытый. Точнее, сперва создаётся изолирующий слой, а потом выращивается/вытравливается микросхема.

Одним из методов (не единственным) создания такого слоя является имплантация ионов кислорода с достаточно большой энергией и очень большой дозой. Потом при отжиге они образуют слой оксида кремния SiO

. Отжиг нужно применять в любом случае, чтобы кристалл кремния восстановил структуру, нарушенную пролетавшими при имплантации через верхний слой ионами. Как вариант, можно использовать ионы азота и получать слой нитрида кремния Si

N

.

У каждого из этих вариантов – свои недостатки. Кислород крайне плохо диффундирует в SiO

. При больших дозах имплантации он неизбежно попадает в уже образовавшийся оксид и, накапливаясь, образует пузырьки газа с большим давлением. Ещё бы, они ведь возникают, раздвинув твёрдый материал! Пузырьки создают большие механические напряжения. Вплоть до того, что весь верхний слой пластины буквально взрывается, превращаясь в порошок. Ну, это крайний случай, но напряжения в любом случае вредны. Пластина изгибается, затрудняя фокусировку для фотолитографии при изготовлении микросхем, развиваются дислокации, ухудшая свойства полупроводника, и т.п. У нитрида такого недостатка нет, азот имеет в нитриде кремния большой коэффициент диффузии. Но у него другой недостаток. В то время как оксид кремния остаётся аморфным, нитрид легко кристаллизуется. Собираясь в кристаллы, он оставляет в изолирующем слое участки кремния, которые портят изолирующий свойства слоя.

Замысел группы Данилина (не знаю, кто выдвинул идею) был проверить, нельзя ли, сочетая кислород и азот, преодолеть оба недостатка? Чтобы ни пузырьков не было, ни кристаллизации. Вроде бы оксинитрид кремния Si

N

O мог быть лишён обоих минусов. В группе было несколько человек, занимавшихся разными аспектами всего мероприятия. Я, естественно, должен был делать послойный анализ получавшихся образцов методом Оже-спектроскопии при ионном распылении образца.

Но тут обнаружилось затруднение. Оже-спектрометр, хоть и имел место и был собран, но не был запущен. Потому что для этого требуется обезгаживание, при котором в течение примерно трёх суток нужно дежурить у прибора. А охрана ФИАНа не даёт разрешения на то, чтобы на территории были люди ночью. По злобе думаю, на самом деле из-за того, что они беззастенчиво спят ночью, ну, не все буквально, но и не все дежурят на самом деле, хотя все получают зарплату. Вот и не хотят, чтобы это видели посторонние. Но, может, я не прав, и причина в другом. И каков, однако, статус у охраны! Забегая вперёд, Мордковичу так и не удалось получить разрешения от охраны и Оже-спектрометр был, в конце концов, продан. Не помню, говорил ли мне кто, куда при этом делся Покровский. Продался вместе с прибором, как крепостной крестьянин со своим земельным наделом? Нет, они, кажется, продавались помещиками и отдельно почём зря. Хотя первоначально именно к земле были прикреплены.

Меня же ещё до продажи того прибора определили работать на французском Оже-спектрометре фирмы РИБОК (зачёркнуто) РИБЕР. На каком-то предприятии электронной промышленности в Кунцево под названием ЦНИТИ. Т.е., видимо, центральный научно-исследовательский технологический институт (что практически ничего о нём не говорит). Но, наверное, про него лучше написать в отдельном пункте мемуаров, а тут закончу про работу в ИПТМиОЧМ.

Название это, кстати, переводится на английский с исключением слова «проблем». Просто институт технологии микроэлектроники. Потому что стыдно. Сразу ведь понятно, что слово «проблем» добавлено в название для того, чтобы никто не требовал с института этой самой технологии. Проблемами же можно заниматься сколько угодно без всяких ощутимых результатов. Институт не так давно отпочковался от института физики твёрдого тела с декларируемой целью быть как раз ближе к технологии. Но организаторы сочли нужным подстраховаться с самого начала.

Приём на работу

При приёме на работу со мной побеседовал аж заместитель и ВРИО директора Вяткин. Или тогда он был только замом, а ВРИО стал потом? Нусутх. Тут я имел возможность сравнить его кабинет с кабинетом парторга завода ПУЛ – никакого сравнения! Совсем небольшая комната. Наверное, совещания устраиваются где-то в другом месте. Он подробно рассказал мне о задачах, которыми занимается институт и своих личных исследованиях. Не знаю, с какой целью. В смысле, что касается обзорной лекции по институту, её можно поручить какому-нибудь сотруднику поменьше рангом. А чем он занимается лично, не всё ли мне равно, если я поступаю на чётко определённое место с определёнными задачами. Никакого Оже-спектрометра в его рассказе не промелькнуло, да он, вроде, и не пытался меня переманить работать в какое-то подразделение поближе к себе, другое, чем лаборатория Мордковича. В общем, чего-то тут я не понял. И никто мне потом не объяснил.

В ИПТМ я увидел, как на самом деле надо устраивать помещение для минимизации пыли в воздухе. Не так, как на ПУЛе: пришёл, пиджак снял, халат надел и всё. Ну и пол иногда помыл, причём пол каменный, а не деревянный. А перегородки стеклянные, а не кирпич со штукатуркой. Но не доходящие до пола и потолка. Нет, в ИПТМ была отделена от остального объёма здания целая большая центральная зона, куда можно попасть только через шлюзы. Воздух туда поступал через фильтры, и там постоянно действовала вытяжная вентиляция. Впрочем, это уже не сам Вяткин мне показал, экскурсию он всё же рядового сотрудника попросил провести. Мне там показали, например, под микроскопом цепочку магнитных кружочков, которая передавала «из рук в руки» некую намагниченную область жидкого кристалла. Её было видно в поляризованном свете. Это был прообраз некоего цифрового устройства, ещё не созданного. Передача, если я правильно помню, происходила из-за некоего аналога инерции. Так можно себе представить планету, которая делает вокруг звезды половину оборота и оказывается между этой звездой и соседней – и закручивается вокруг второй, а на той стороне орбиты попадает в область притяжения третьей. Вот так она себя вела. Кажется на первый взгляд, что, оказавшись между двумя центрами притяжения, она случайно выберет, вокруг которого теперь вертеться, но нет, она всегда переключается на альтернативный. Забавно. Не очень понятно, в чём может заключаться эта самая инерция, если она не по прямой летит, а в момент выбора так и вообще поперёк направления результирующего перемещения…

Вяткин, кажется, больше ни разу со мной не говорил. Я его иногда видел потом на конференциях. И вот теперь боюсь оклеветать человека, но, возможно, именно он в какой-то момент собирался сделаться из ВРИО директором, и для этого устроил интересные выборы по-советски. А может, это уже следующий какой-то начальник, не ручаюсь. Вообще-то, вроде бы, директоров не выбирают, а назначают сверху. Но это был, наверное, такой побудительный аргумент для верхнего начальства – коллектив, де, выбрал. Других кандидатов не было, а на бюллетене было в тоне приказа написано, что его следует бросать или «за», или «против», и запрещено уносить из института. Без никаких объяснений. Разумеется, я его унёс. Типа, чего-то не понял. Если разговариваешь с научным сотрудником как с солдатом, смотри, чтобы он не прикинулся шлангом. «Приключения бравого солдата Швейка» все читали. Кстати, не могу понять, почему «прикинуться шлангом»? Ведь немецкое Schlange, от которого это слово, значит «змея». А змея – символ мудрости. Ну, и подлости тоже, но не глупости же. Но унёс-то я тот листочек на память, а теперь и не знаю, где он. Жаль, а то мог бы процитировать, чтоб было понятно, почему какой-то запрет выносить бюллетень показался мне слишком наглым. Вот, вроде, о самом ИПТМ и его начальстве всё, что запомнилось.

Разноуровневые доктора наук

Про Мордковича ещё буду упоминать дальше, пока замечу, что на его примере я обнаружил, что доктора наук по статусу сильно отличаются друг от друга. А именно, у меня в Москве был дядя, старший брат отца, руководитель теоретического отдела Института кристаллографии, то есть, довольно близкой специальности. Не то что бы это привело к какому-то профессиональному общению. Ну ладно, тут не про дядю. Но он был не просто доктор наук, а как-то выдвигался в член-корры Академии наук. Правда, как он сам с юмором говорил, он был шансонеткой, от слов «шансов нет». Тем не менее, даже так это уже не простой доктор наук! Было интересно смотреть на реакцию его и Мордковича на упоминание фамилии одного другому. Оказалось, оба они друг о друге знают, и друг к другу относятся хорошо. Но если дядя снисходительно свысока заметил что-то вроде «головастый мужик», то Мордкович отозвался о нём с огромным уважение, явно взирая, так сказать, снизу вверх. Это в добавление к тому наблюдению, что дистанция между начальственными уровнями растёт с повышением уровня. От руководителя группы до начальника лаборатории гораздо ближе, чем от начальника лаборатории до начальника отдела, в т.ч. отдела другого института.

Тем удивительнее лекция, устроенная мне ВРИО или замом директора – больше я с таким ни разу не встречался. Моё поступление на работу оставалось всегда делом тех, кто собирался непосредственно работать со мной, ну и плюс кому положено его визировать – но их я не видел обычно. Может, бумаги подписывал, скажем, начальник отдела кадров, но именно с бумагами он и знакомился. Бывало, по рассказам, что знакомился и с поступающим на работу, обычно в случае, когда он чем-то подозрителен. Аню как-то начальник отдела кадров спросил о её фамилии Дыбо, она объяснила, что обычная украинская фамилия. – А! – воскликнул начальник. – Цоб-цобе! Так вы так и говорите, что украинская, а то чёрт знает что подумать можно! – Тут надо заметить, что у меня фамилия тоже украинская, или белорусская. Скорее первое, во всяком случае, встречался мне в интернете украинский футболист Борун. Впрочем, футболист может с любой фамилией оказаться в любой команде. Хоть из Африки. Нусутх. Я даже могу предположить, какой у неё смысл, правда, не знаю, какой из двух вариантов, то ли борун – это человек, живущий в бору, например, лесник. То ли тот, кто занимается борьбой или хорошо борется, борец, в общем. Витя слышал, что белорусы вместо выйдем поговорим говорят выйдем борнёмся. Это в пользу боруна – борца. Но могла быть и контаминация с еврейским именем Борух. А так и в русском вполне действующее окончание: скакун (кстати, есть и такая фамилия), колун (толстый топор), колотун (мороз), бегун (и такую фамилию я встречал). Но что-то я не припомню ни одной беседы с начальником отдела кадров и вообще ни с каким начальником уровня института при поступлении. Страшно далеки они от народа. Это должна быть какая-то личная заинтересованность. Скажем, есть анекдотическая история про директора «стекловки» (математический институт), что он был настроен очень антисемитски и как-то забраковал одного поступающего на основании фотографии в личном деле. К нему привели человека, он с ним побеседовал, а главное, посмотрел на него и убедился, что зря подозревал. – Ну, значит, фотограф был еврей, – сказал он. Между прочим, вполне правдоподобный вариант. Аня как-то рассказала, что её мать на снимке, сделанном в фотоателье китайцем, была очень похожа на китаянку. В жизни же, могу засвидетельствовать, похожа не была. Чурганова Валерия Григорьевна, русская, не китаянка. Из Тульской области. Конечно, фотограф не может каким-то мистическим образом влиять на фотографию. Он влияет вполне материально: ретуширует, убирая погрешности изображения, а заодно может слегка подправить в соответствии со своими эстетическими представлениями[68 - Между прочим! Только что, читая книгу Н.Ф. Катанова «Очерки Урянхайской земли» о его экспедиции в 1889 году, увидел там комментарий по поводу слова «дзурган», обозначающего китайского чиновника (тогда эта территория принадлежала Китаю), которого тувинцы называли «чургаан». А что, если фамилия Чурганова происходит от этого чургаана? Тогда у неё мог быть китаец в числе давних предков. Или монгол. Или тувинец.]. А еще был анекдот про академика Юрия Дерениковича Апресяна, главу перестроечного авторского коллектива Нового большого англо-русского словаря: ему начкадров якобы сказал, что, конечно, я согласился, что мы будем принимать всех, но нельзя ли как-нибудь принимать не только всех?

Это всё к вопросу об антисемитизме в СССР. Как мне кажется, он был на системном уровне ограниченным – была, скажем, неофициальная процентная норма приёма в МГУ и другие ВУЗы, далеко не во все. С физтехом, правда, речь шла уже даже не о норме, а об исключительной ситуации для попадания туда. Я с этим знаком не понаслышке: туда пытался поступить мой брат. Не доверяя слухам, что это невозможно, да и, в конце концов, можно же сделать попытку и убедиться самому. Кажется, там приём был пораньше, просто потому, что конкурс большой, так пусть у абитуриентов будет возможность куда-то поступить при неудаче. Он хорошо сдал все экзамены, а на собеседовании его откровенно целенаправленно завалили. А потом мой дядя, тот, который «шансонетка», сетовал, что его не предупредили. Кто же так делает, надо было поговорить с нужными людьми. Но я сомневаюсь, чтобы он мог (и захотел) что-то сделать. Потом-то всякий скажет, что зря ему не сказали, уж он бы… Но в другой похожей ситуации он не пытался помочь. Возможно, и не мог, не знаю. Но я и других людей встречал, говоривших задним числом, что надо было только к ним обратиться, и тоже сомнительно, чтобы это на самом деле имело смысл. Это просто совершенно ничего не стоящий способ поддержания авторитета и хорошего отношения.

Что касается работы, то я с ограничениями по национальному признаку почти не встречался. Да и зачем? Просто человека, имевшего форму допуска, сколько-то лет не выпускали за границу. Например, мой двоюродный дед умер в разлуке с уехавшими женой и детьми, не успев «отбыть» это количество лет. Он был математик и проводил, в качестве подработки, какие-то расчёты для чего-то авиационного. Как мне рассказали, сомнительно, чтоб он мог выдать какие-то секреты, потому что смысл разработок ему не сообщали, но порядок есть порядок. Однако вполне себе существовали некоторые директора институтов, по своим личным предпочтениям проводившими антисемитскую политику, и их, видимо, сверху не одёргивали.

Скорее всего (по слухам так) в других республиках была какая-то сложная национальная политика. Кадровая, я имею в виду. Местные жаловались, что все высшие должности занимают русские, русские жаловались, что наоборот[69 - В.Ч.: политика была довольно четкая: 1й секретарь местной компартии – национальный кадр, 2й – русский. Когда в 1986 Горбачев назначил русского 1го секретаря в Казахстан, возник большой бунт, дошедший до убийства милиционера и в конце концов пришлось привозить с ленинградской «Электросилы» молодого инженера Назарбаева, почти не говорившего по-казахски . В нижестоящих организациях примерно так же. В Казанском ун-те было забавно рассматривать стенды кафедр в коридоре: если общественные науки – одни фаруки и идрисы, как математическая –..... ну татарские фамилии попадались, но среди не заведующих, а аспирантов (впрочем, когда все евреи уехали, а я ещё работал в СГУ и потом аграрном, стало заметно, что татарские студенты выделяются на фоне остальных, хотя казахи и армяне были способнее, но чеченец, которого я репетировал потом для поступления в МГУ был вне конкуренции). Любопытны рассказы Шостаковича музыковеду Соломону Волкову: композиторов Москвы и Ленинграда рассылали по среднеазиатским республикам, чтобы они там писали «национальную музыку» за официально назначенных «национальных композиторов», порой не знавших нот. То же самое, говорил он, творилось в поэзии. При этом народы сии не такие уж дикие (в конце концов кто был Аль-Хорезми, имя которого в Европе превратилось в «алгоритм», по национальности? или взять решателя квадратных уравнений Омара Хайяма) просто нужно было не их подлинная культура, а «национальная по форме и социалистическая по содержанию». За невозможностью осуществления весь социализм был грандиозной имитацией (всего: науки искусства, экономики, идеологии,,,) с непререкаемым требованием лжи и лицемерия. В наше время имитация и лицемерие достигло невероятной, гротескной степени, так ведь Путин же тщится восстановить Советский Союз (начал с гимна уже в 2000) и месяца два назад заметил, что «в мире растет понимание: капитализм себя исчерпал» – Я: ну, это он (и его спичрайтер) опоздал заявить. Историк (написано в аннотации, что марксист, но марксист он сомнительный) Хобсбаум в книге «Короткий XX век» пишет, что со времени Великой депрессии стали вводить в капитализм элементы социализма (как у нас НЭП, но наоборот). Чтобы владелец частного предприятия слушался правительства, которое детально не планирует, но может приказать прекратить увеличивать производство чего-то, пока не получился очередной кризис перепроизводства, например. И в таком режиме они отлично развивались всю вторую половину 20 века. А в конце всё же получился кризис. И, в частности. повылезли теоретики «свободного рынка», однако никто им власти не дал, кроме неполной попытки в Англии (Маргарет Тэтчер), и то провальной. По их теории правительство вообще не вмешивается в экономику, и потому почти не собирает налогов, а к концу правления Тэтчер их пришлось собирать больше, чем в начале её правления… И вторая попытка: РФ. Потому что во Всемирный банк или как там его, Международный валютный фонд, которые финансировали преобразование экономики РФ, пролезли в большом количестве теоретики «свободного рынка» и стали диктовать свои модели. Так что у нас вслед за провальной попыткой построить утопический коммунизм была провальная попытка построить утопический капитализм. А получился бандитско-государственно-монополистический. В общем, чистый капитализм исчерпал себя в первой трети прошлого века. А с элементами социализма, похоже, ещё не совсем.]. Что касается антисемитизма, вроде бы ещё при царе существовала должность «умный еврей при губернаторе». А может, это придумали евреи. Анекдот про мэра Одессы, который удержался на своём посту необычайно долго, и вот его спрашивают, как ему удалось поладить с одесситами, они же своими насмешками всех его предшественников быстро выживали. – С ними легко поладить, – сказал он. – Просто надо иметь тохес на плечах. – Тут надо пояснить, что тохес на идише вовсе не голова, как думает этот мэр, а задница. Кто-то над ним подшутил… Но вернусь в ИПТМ. Тем более, идиша я не знаю, так что анекдот понял только после пояснения.

Как оказалось, не из лекции ВРИО директора, а потом, политикой института было предварительное прохождение каждой публикации или доклада на конференции любого сотрудника института через обсуждение научного совета, то есть фактически общего собрания, на которое приходили все, кто мог оторваться от работы в этот момент. В принципе, это правильная стратегия, чтобы институт не дискредитировали недобросовестные сотрудники, выступая с недостоверной инфой. Не нравилось мне в ней то, что это местным сотрудникам было легко прийти на полчаса в конференц-зал и обсудить интересующее их сообщение, а мне и коллегам из московской лаборатории приходилось приезжать в Черноголовку и терять целый день. Среди же черноголовских сотрудников ИПТМ было распространено мнение, что москвичи зазнаются: приезжают только со своими докладами, максимум с товарищами, а на обсуждение докладов местных не приезжают. Это приводило к несколько неприязненному отношению, которое сказывалось, насколько я мог по себе заметить, в повышенной придирчивости при обсуждении.

Конференции

Где-то ближе к концу работы в ИПТМ – впрочем, ещё не зная, что этот конец наступит скоро, поскольку он был неожиданным – а именно, к 1994 году я заметил, что начальники, и непосредственный, Данилин, и посредственный, Мордкович, ездят на все заграничные конференции, в том числе, с совместными докладами. А на внутрисоюзные направляют рядовых сотрудников, в т.ч. меня и других рядовых сотрудников. Например, смотря постфактум, из восьми записанных у меня в Application международных конференций, есть Англия (1989), Испания (1994) и Швейцария (1995), это значит, что в докладах, сделанных там, стояло моё имя, но я там не был. Ещё был Тайвань (1994), но это исключение, о котором и речь. И были, тоже считавшиеся международными, Звенигород (1994), Хилово, Псковская обл. (2002), Звенигород (2003), там я действительно был. Не то чтобы я хотел наоборот, пусть начальники ездят по России, а я за границу, но хоть иногда-то было бы интересно съездить за рубеж тоже.

Хотя вообще я в советское время побывал во многих местах, которые теперь стали заграницей. Ещё в универе – в Бресте, в военных лагерях. Хм, тоже надо описать, но к какой мемуарной теме это относится?.. Живя ещё в Саратове, был в горном походе, начинавшемся в Душанбе, а после него заехал в Самарканд. А работая в ИПТМ, побывал в Тбилиси, например. Там был совместный семинар нашей лаборатории и тбилисской. Пожалуй, надо написать специальный раздел мемуаров о поездках, вот. Тем более, что большая часть к работе не относится. А большое их количество приходится на время на пенсии: Будапешт (заодно с Аней, она на конференцию, а я просто так), Израиль (помогал ей с разбором библиотеки, оставшейся от Долгопольского), Белое море, Тува, Горный Алтай (лингвистические экспедиции, а я так просто), разные районы Хакасии (тут хоть шофёром работал в нескольких).

Сами конференции по специальности были, естественно, для меня гораздо интереснее, чем тот случайный семинар по квантовой химии в Саратове. Иногда сосед по комнате (селили часто по двое) тоже что-то интересное рассказывал, по своей теме, если я не мог слушать доклад, будучи на другой секции, иногда что-то вне темы конференции.

Пример первого: товарищ агитировал за развитие синтеза кремния из моносилана SiH

. Это, конечно, ядовитый газ, вдобавок самовоспламеняющийся на воздухе. Но он утверждал, что эти недостатки взаимно уничтожаются. Ядовитым газом можно при утечке отравиться, но если он тут же сгорает, этого не произойдёт!

Пример второго: товарищ утверждал, что разработчики квантовой физики были слишком молоды и слишком неопытны в математике. Потому они не нашли адекватного математического отображения для квантовомеханического объекта, имеющего свойства частицы и волны одновременно. А вот он проанализировал недостатки их математического описания – и нашёл получше. Это некая математическая сущность, представленная парой, одна компонента которой скаляр, а другая вектор[70 - И Витя, и Вася написали мне, что это кватернион. Который математики изобрели давно, но физики, не зная, изобрели еще раз его неполноценную версию – векторное умножение трехмерных векторов. Вася написал «интересно было бы посмотреть, как он элиминировал соотношение неопределённостей». К сожалению, я деталей не запомнил, а примерно это выглядело так, что неопределённости возникают потому, что что-то там колеблется туда-сюда, а в терминах существующей модели это не колебание, а размытость в пространстве. Слишком обобщённый подход, а надо, дескать, детальнее.]. Формул он не приводил, а если бы привёл, я бы, наверное, не разобрался и не запомнил, но утверждал, что в его подходе ликвидируется «нелепое» соотношение неопределённостей, запрещающее одновременно узнать точно скорость и положение частицы. Или, скажем, энергию в чётко зафиксированный момент времени.

Один раз был такой забавный случай на конференции «с иностранным участием». Эта формулировка, как оказалось, включала нескольких белорусов и одного японца. Прочие намечавшиеся иностранцы передумали. Японец рассказывал очень интересные вещи. Он сделал настолько сверхвысокочастотный излучатель и регистратор этого излучения, что почти добрался до области инфракрасных волн. И получил кучу молекулярных спектров. Сложных, но выделяющихся индивидуальностью и опознаваемых. К сожалению, у организаторов конференции набралось незапланированно много докладов. Или мало времени. Они не нашли ничего лучше, чем сократить доклады с 15 до 10 минут. Без предупреждения! Точнее, с очень поздним предупреждением, когда уже некогда переделывать доклад. Могли бы, между прочим, хотя бы к единственному участнику, оправдывавшему заявленный статус конференции, отнестись более вежливо. Но нет. Несчастному японцу перед самым докладом, когда он уже вышел к кафедре и включил проектор, сказали, что – нет-нет, время не сокращается, но пришлось общее время сократить с 20 до 15 минут. Потому пусть он попытается сократить рассказ с 15 до 10 минут, чтобы оставить 5 на вопросы. Подразумевалось, что, если трудно, то и не надо. Но это что в лоб, что по лбу, или, как говорил сибиряк Якорев, «что совой по пню, что пнём по сове». Японец остался невозмутим, как истинный самурай. Он кивнул и прочитал весь доклад в быстром темпе. Причём особенно быстро он менял прозрачки в проекторе. Положит – вынет, положит – вынет. Так и мелькали блок-схема установки, чертежи каких-то её важных блоков, схема анализа спектров, типичные спектры разных молекул. Разглядеть было невозможно абсолютно ничего! Кончил он минута в минуту, оставив на вопросы 5 минут. Вопросов не было. Но слушатели похлопали, если не смыслу доклада, то тому, как он блестяще ответил на вызов, сделанный ему организаторами конференции. Смысл тоже было бы очень интересно послушать, но увы[71 - Забавно, что потом этот условно слышанный мной японский доклад сыграл роль при написании книги «Критика эфиродинамики». Критикуемый автор, В.А. Ацюковский, в частности, утверждал, что свет (включая, видимо, ИК) и радиоволны (включая сверхвысокие частоты) есть принципиально разные явления. И то, и другое некие волны эфира, но разные. И даже приводил какие-то аргументы, не особо убедительные, но всё же. Не знаю, убедила бы его способность СВЧ возбуждать молекулярные спектры, такие же, как ИК? Вряд ли. Хотя мою критику он читал. Читал, и, судя по словам доставившего её ему, ругался. Что не значит, конечно, что он её как-то учёл и вообще обдумал… Но про него позже.].

Так вот, с чего я начал-то. Получил я как-то пригласительное письмо на конференцию аж на Тайвань. Организаторы, видимо, ориентировались на какие-то зарубежные публикации. Думаю, начальники тоже получили такие же приглашения, но пренебрегли. А я взял и ответил согласием. И таки съездил, и это был единственный раз за границей в относительно советское время. (Поездка в Будапешт была уже в несоветское. Тоже единственная – в Европу. И два раза в Израиль. Но по экзотичности ни Будапешт, ни Израиль не переплюнули Тайвань). Наверное, все сопутствующие хлопоты нужно описать в той самой теме путешествий. Тут замечу лишь, что Мордкович, узнав, что я еду на Тайвань, упрекнул меня только в том, что я раньше не сказал, потому что он должен посмотреть, как я перевёл доклад на английский. И действительно посмотрел и сделал полезные замечания. То есть проявил себя в тот раз как хороший начальник. Я-то опасался, он вообще запретит, обидевшись, что я вознамерился поехать сам, вместо того, чтобы уступить эту возможность ему или Данилину. А он, наоборот, помог.

А почему я об этом вообще вспомнил в теме «ИПТМ», я ведь доклад[72 - Речь в нём шла о том, как повысить разрешение Оже-пиков кремния на энергетической шкале двумя способами. Во-первых, можно программной обработкой вычесть из смеси спектров электронов с орбиталей р

и p